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1、適用晶圓：8吋及以下；

2、烘膠面板尺寸：Φ220mm；

3、溫度范圍：室溫-300℃；

4、控溫精度：0.1℃；

5、溫度均勻性：200℃以下≤1%，200℃~300C≤1.5%；

6、電源：AC220/50Hz，1000W；

7、外形尺寸：W390mm×D300mm×H148mm。